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單晶硅是具有基本完整的點陣結構的晶體。不同的方向具有不同的性質，是一種良好的半導材料。單晶硅棒是在工業生產中使用直拉法或懸浮區熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。其主要指標有少子壽命，氧含量等等。單晶硅棒是生產單晶硅片的原材料。
| 項目 | 技術參數 |
|---|---|
| 邊長 | 166mm±0.25mm / 182mm±0.25mm |
| 直徑 | 223mm±0.25mm / 247mm±0.25mm |
| 垂直度 | 90℃±0.2 |
| 晶向 | <100>±3° |
| 粗糙度 | Ra≤0.3um |
| 斜面 | ≤1mm |
| 電阻率 | 0.4-1.1Ω·cm |
| 少子壽命 | ＞70μs（BCT-400） |
| 氧含量 | ≤0.8 X1018atoms/cm3 |
| 碳含量 | ≤0.5 X1017atoms/cm3 |
| 生長方法 | CZ 直拉法 |
| 導電型號/摻雜劑 | P/摻稼 |
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